| 发明名称 | 高纯气体汇流充装排 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高纯气体汇流充装排，包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门；所述氮气阀门一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路；所述排气阀门一端连接所述废液罐，另一端连通所述环流管路；所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排，能够在一套设备上完成高纯氮气进行高纯吹扫，然后再将瓶中废液压入废液罐中，再进行高纯气体的充装等工作，从而提高了工作效率，并节省了设备成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203431481U | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201320424476.9 | 申请日期 | 2013.07.17 |
| 申请人 | 爱康尼克晶体硅（芜湖）有限公司 | 发明人 | 缪贯通;缪嘉通;宋兆德;吴琼 |
| 分类号 | F17C5/00(2006.01)I;F17C7/00(2006.01)I | 主分类号 | F17C5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人 | 杨欣陆 |
| 主权项 | 一种高纯气体汇流充装排，其特征在于：包括环流管路（3）、氮气阀门（1）、排气阀门（2）、接口阀门（4）、废液罐（9）、废液阀门（6）；所述氮气阀门（1）一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路（3）；所述排气阀门（2）一端连接所述废液罐（9），另一端连通所述环流管路（3）；所述接口阀门（4）用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门（6）串联在所述废液罐（9）和所述排气阀门（2）之间。 | ||
| 地址 | 241206 安徽省芜湖市繁昌县孙村镇工业园东区 | ||