晶体管及其制造方法

摘要

本发明提供了晶体管和该晶体管的制造方法。晶体管可以包括石墨烯和由石墨烯转变的材料。该晶体管可以包括沟道层和栅绝缘层，该沟道层包括石墨烯，该栅绝缘层包括由石墨烯转变的材料。由石墨烯转变的材料可以是氟化石墨烯。沟道层可以包括图案化的石墨烯区域。图案化的石墨烯区域可以通过由石墨烯转变的区域来限定。图案化的石墨烯区域可具有纳米带或纳米网结构。晶体管的栅极可以包括石墨烯。

主权项

一种晶体管，包括：沟道层，包括石墨烯；栅绝缘层，设置在所述沟道层的表面上并且包括氟化石墨烯；栅极，设置为面对所述沟道层，所述栅绝缘层插置在所述栅极与所述沟道层之间；以及源极和漏极，分别电连接到所述沟道层的第一和第二区域。