荧光X射线分析方法和荧光X射线分析装置

摘要

荧光X射线分析方法和荧光X射线分析装置。在利用了荧光X射线分析的有害元素的质量管理中，对样本分析所需的时间进行优化并实现判断的自动化。作为解决手段，提供如下的X射线分析方法和采用了该方法的X射线分析装置：将多个分析条件和对象元素的管理基准作为一组测定，能够设定将最初的组设为简易分析、将之后的组设为精密分析的多个组的测定，在组之间设置判断步骤，判断是否需要下一组的测定。

主权项

一种荧光X射线分析方法，对样本照射一次放射线，检测从该样本发出的特征X射线和散射X射线，其特征在于，该荧光X射线分析方法具有2个以上的组过程，所述组过程包括如下步骤：设定步骤，设定/保存分析条件和判定条件；测定步骤，根据所述分析条件对样本进行分析测定；计算步骤，根据在该测定步骤中得到的X射线强度，分析1种或者多种元素的浓度和分析精度，得到各自的分析结果；判定步骤，针对所述分析结果，根据所述判定条件，得到检查是否合格的判定结果；以及保存步骤，记录所述分析结果和所述判定结果，在所述2个以上的组过程中，第1组过程中的测定步骤的测定是简易分析，第2组过程及第2组过程以后的组过程中的测定步骤的测定是精密分析，此外，在所述组过程之间还具有判断过程，在该判断过程中，根据其前一个组过程的所述判定结果，判断是需要进行下一个组过程的分析还是在判断出是否合格之后结束分析。