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发明名称
Verfahren zum Herstellen von Halbleiterschaltkreisen mit Leitbahnen
摘要
申请公布号
CH515614(A)
申请公布日期
1971.11.15
申请号
CH19700015858
申请日期
1970.10.27
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
DIETRICH,MANFRED;EGER,HELMUT;NEUBERT,ECKART;KRUEGER,WOLFGANG,DR.
分类号
H01L21/60;H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):H01L7/02
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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