发明名称 | TE偏振的石英1×2分束斜光栅 | ||
摘要 | 一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅,该分束光栅的光栅周期为798~802纳米,倾斜角为14~16度,脊深为755~759纳米,占空比为0.5。当TE偏振光在一级布拉格角入射(23.41度)时,其透射光将分成等强度的2束光,这2束光总的衍射效率大于98%,并且其均匀性优于3%。本发明TE偏振倾斜石英1×2分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成,取材方便,造价小,能大批量生产,具有重要的实用前景。 | ||
申请公布号 | CN103576220A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
申请号 | CN201310473004.7 | 申请日期 | 2013.10.11 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周常河;李树斌 |
分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
主权项 | 一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅,其特征在于该分束光栅的光栅周期为798~802纳米,倾斜角为14~16度,脊深为755~759纳米,占空比为0.5。 | ||
地址 | 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱 |