发明名称 TE偏振的石英1×2分束斜光栅
摘要 一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅,该分束光栅的光栅周期为798~802纳米,倾斜角为14~16度,脊深为755~759纳米,占空比为0.5。当TE偏振光在一级布拉格角入射(23.41度)时,其透射光将分成等强度的2束光,这2束光总的衍射效率大于98%,并且其均匀性优于3%。本发明TE偏振倾斜石英1×2分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成,取材方便,造价小,能大批量生产,具有重要的实用前景。
申请公布号 CN103576220A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201310473004.7 申请日期 2013.10.11
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 周常河;李树斌
分类号 G02B5/18(2006.01)I 主分类号 G02B5/18(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯
主权项 一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅,其特征在于该分束光栅的光栅周期为798~802纳米,倾斜角为14~16度,脊深为755~759纳米,占空比为0.5。
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