| 发明名称 | 光学测量设备和运载工具 | ||
| 摘要 | 公开了一种光学测量设备，包括：第一光源；光学元件，聚集从第一光源发出的光束；光照射器，将光束照射到目标上；以及光电检测器，检测光束的从目标穿过成像系统的反射光或散射光，光束被照射到目标上，其中，从第一光源到通过光学元件形成的第一光源第一共轭象的第一光路长度与从光电检测器到通过成像系统形成的光电检测器第二共轭象的第二光路长度至少在第一方向上不同。 | ||
| 申请公布号 | CN103576209A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201310338031.3 | 申请日期 | 2013.08.06 |
| 申请人 | 株式会社理光 | 发明人 | 仲村忠司;今井重明 |
| 分类号 | G01V8/10(2006.01)I;G01S17/08(2006.01)I | 主分类号 | G01V8/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 吴俊 |
| 主权项 | 一种光学测量设备，包括：第一光源；光学元件，构造成聚集从所述第一光源发出的光束；光照射器，构造成将所述光束照射到目标上；以及光电检测器，构造成检测所述光束的从所述目标穿过成像系统的反射光或散射光，所述光束照射到所述目标上，其中，从所述第一光源到通过所述光学元件形成的第一光源第一共轭象的第一光路长度与从所述光电检测器到通过所述成像系统形成的光电检测器第二共轭象的第二光路长度至少在第一方向上不同。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||