研磨垫整理器及研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种研磨垫整理器及研磨装置，所述研磨装置包括内研磨盘、环形的外研磨盘、内盘旋转电机、外盘旋转电机、内盘支撑架以及外盘支撑架，所述内盘支撑架的一端与所述内研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述内盘旋转电机连接，所述外盘支撑架的一端与所述外研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述外盘旋转电机连接，所述内研磨盘的外径小于所述外研磨盘的内径，所述内研磨盘与所述外研磨盘同轴设置，所述内研磨盘和所述外研磨盘能够相对独立上下移动。其可以解决研磨盘过大其表面的研磨液副产物不容易排除的问题，并且可以减小研磨液在研磨垫上的分布时间，从而有效提高研磨垫的整理效率和效果。

主权项

一种研磨垫整理器，其特征在于，包括内研磨盘、环形的外研磨盘、内盘旋转电机、外盘旋转电机、内盘支撑架以及外盘支撑架，所述内盘支撑架的一端与所述内研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述内盘旋转电机连接，所述外盘支撑架的一端与所述外研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述外盘旋转电机连接，所述内研磨盘的外径小于所述外研磨盘的内径，所述内研磨盘与所述外研磨盘同轴设置，所述内研磨盘和所述外研磨盘能够相对独立上下移动。