升针机构和升举装置

摘要

本实用新型公开了一种升针机构和升举装置，涉及半导体制造技术领域，使升针的固定更加牢固。该升针机构包括：导杆；升针固定套筒，所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接；所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部；所述挡翼固定部包括升针通道，所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸；所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽，所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸；所述升针通道中设置有升针，所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出，所述升针上设置有挡翼，所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。

主权项

一种升针机构，包括导杆、升针固定套筒和升针，所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接；其特征在于：所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部；所述挡翼固定部包括升针通道，所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸；所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽，所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸；所述升针通道中设置有所述升针，所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出，所述升针上设置有挡翼，所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。