用于沉积电绝缘层的方法

摘要

一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备导电性差的层特别是绝缘层的方法，其中电弧放电在电弧源的至少一个阳极和至少一个阴极之间于含反应性气体的气氛中运行，在与阴极电连接的靶表面上不产生或仅产生小的基本上垂直于靶表面的外磁场以辅助蒸发过程，通过另外的涂覆源的表面的再涂覆度小于10％，或该磁场由包括至少一个具有类似于靶周边的几何形状的轴向极化线圈的磁体系产生。

主权项

一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备绝缘层的方法，其中电弧放电在电弧源的至少一个阳极和一个阴极之间于含反应性气体的气氛中运行，其特征在于，通过在与所述阴极电连接的靶上产生基本上垂直于靶表面的外磁场，该外磁场包括垂直于该靶表面的分量Bz以及平行于所述靶表面并且比垂直于该靶表面的分量Bz更小的分量Br，其中向由至少一个基本呈轴向极化的线圈组成的磁系统施加励磁电流，所述线圈具有类似于靶周边的几何形状，且其中所述外磁场在所述靶表面的垂直分量Bz调节为3‑50高斯。