发明名称 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法
摘要 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法,属于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉技术领域。设备内部腔室与外部进行隔离;有滚轴的输送结构,安装在滚轴上的滚轮将晶硅光伏电池从炉体一端输送到另一端;设备温度控制采用双重控温,即经过加热后的氮气通过管道进入炉体内部,在炉体内部通过红外加热灯管再次进行整体温度的调控;设备炉体中间光伏电池通过的空间为工艺腔室,在工艺腔室两侧为排气腔室;设备炉体上盖连接上盖板升降装置进行开闭;滚轴传动机构采用蜗轮蜗杆机构,机械传动装置连接伺服电机作为动力源;本发明达到了气流平稳、温度均匀、洁净输送、传动平稳、防止电池氧化、维护方便。
申请公布号 CN103579414A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201310337512.2 申请日期 2013.08.05
申请人 北京吉阳技术股份有限公司 发明人 孙良欣;岳树民
分类号 H01L31/18(2006.01)I;F27B9/04(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京市商泰律师事务所 11255 代理人 毛燕生
主权项 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法,其特征在于含有以下步骤;防止光伏电池所用镍金属在高温工艺条件下氧化,整个设备内部腔体通入氮气,对腔体穿过腔体的灯管、传动轴间隙进行密封处理,减少氮气消耗;通过采用多腔室、匀流板方式,对气流的方向进行了控制;加热氮气从上入口、下入口进入链式气氛炉,通过上匀流板、下匀流板均匀进入链式气氛炉的炉体内部,之后进入两侧的排气腔室,经左排气管道、右排气管道排出;下匀流板、上匀流板表面密集开孔,促使通过的气流能够均匀的通过,确保炉体内部气流平稳和温度均匀,在工艺腔体外部设置硅酸铝陶瓷纤维保温层进行保温;采用双重温度控制方式,即先对氮气进行加热,然后才将其通入设备内部,在设备内部再通过红外灯管对整个腔室内的温度进行精密控制;使用滚轴式输送,安装在滚轴上的滚轮将晶硅光伏电池从炉体一端输送到另一端;顶盖升起机构方便设备维护时取出碎片。
地址 100012 北京市朝阳区北苑路40号2号楼
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