| 发明名称 | 一种纳米压印工艺的优化方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种纳米压印工艺的优化方法，包括如下步骤：（1）选取影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置相应水平；（2）在设定的因素条件下进行纳米压印实验，记录实验结果；（3）利用多因素方差分析方法对实验结果进行分析；（4）根据分析结果选择最佳水平组合，确定最佳的纳米压印条件。本发明提供的纳米压印工艺的优化方法利用数理统计方法，简单易行，科学精确，能快速确定最佳的纳米压印条件，提高纳米压印的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103577582A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201310552766.6 | 申请日期 | 2013.11.08 |
| 申请人 | 无锡英普林纳米科技有限公司 | 发明人 | 王晶 |
| 分类号 | G06F17/30(2006.01)I;G06Q10/04(2012.01)I;G06Q50/04(2012.01)I | 主分类号 | G06F17/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 成立珍 |
| 主权项 | 一种纳米压印工艺的优化方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）选取影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置相应水平；（2）在设定的因素条件下进行纳米压印实验，记录实验结果；（3）利用多因素方差分析方法对实验结果进行分析；（4）根据分析结果选择最佳水平组合，确定最佳的纳米压印条件。 | ||
| 地址 | 214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号 | ||