具有增强结构强度的微机电系统加速度计

摘要

本发明提出一种具有增强结构强度的微机电系统(MEMS)加速度计(accelerator)，设置于基板上，包含：多个弹簧，其中，每一弹簧包括：弹簧固定锚部(anchor)，固定于基板；弹簧可动部，其具有：固定于弹簧固定锚部的弹簧固定端(fixed end)；以及悬浮于该基板上方的弹簧自由端(free end)；其中，弹簧可动部为反复折绕结构，弹簧固定端位于反复折绕结构的一侧边上中间三分之一边长的范围内；弹簧自由端位于弹簧固定端对边上中间三分之一边长的范围内；质量块(proof mass)，与各弹簧中的弹簧自由端连接；以及多个同平面(in-plane)感测电极区。

主权项

一种具有增强结构强度的微机电系统加速度计，设置于一基板上，其特征在于，包含：多个弹簧，其中，每一弹簧包括：一弹簧固定锚部，固定于该基板；一弹簧可动部，其具有：一固定于该弹簧固定锚部的弹簧固定端；以及一悬浮于该基板上方的一弹簧自由端；其中，该弹簧可动部为一反复折绕结构，其结构大致为一多边形图案，该弹簧固定端不位于靠近该多边形图案角落的位置；该弹簧自由端位于该多边形图案的该弹簧固定端对边上，但也不位于靠近该多边形图案角落的位置；一质量块，其具有多个接点，分别与对应的弹簧中的弹簧自由端连接；以及多个同平面感测电极区，其中，每一同平面感测电极区包括：至少一定子，固定于该基板，其具有：一定子固定锚部，固定于该基板；多个定子金属层，固定于该定子固定锚部；以及至少一定子支撑栓，以连接相邻的定子金属层；以及至少一动子，连接于该质量块，其具有：多个动子金属层，连接于该质量块；以及至少一动子支撑栓，以连接相邻的动子金属层，其中该定子中的最上层定子金属层及/或最下层定子金属层包含多个独立金属段，该些独立金属段由该定子支撑栓连接至相邻的定子金属层，或其中该动子中的最上层动子金属层及/或最下层动子金属层包含多个独立金属段，该些独立金属段由该动子支撑栓连接至相邻的动子金属层。