刻划装置及刻划方法

摘要

本发明是有关于一种刻划装置及刻划方法。当对已形成有图案P1的薄膜太阳电池基板进行刻划时，可与图案P1的线平行地，正确地刻划图案P2、P3的线。当影像处理部以既定周期读取基板的图案P1，且以刻划时的移动速度移动时，抽出间隔为刻划单元的固有周期以上的特征点。其次，根据已抽出的特征点的位置数据，以与已刻划的线平行的方式控制加工头。借此，可减少异常振动，且可不使加工头的位置急遽变化而提高加工精度地进行刻划。

主权项

一种刻划装置，对保持于载台上的基板进行刻划；该基板积层有薄膜且在薄膜上形成有图案；其特征在于该刻划装置具备：滑件，其安装有刻划单元；滑动机构，其使该滑件与该基板的面平行地沿着已形成的图案的线移动；升降机构，其安装于该滑件，且在上下方向驱动该刻划单元；位置修正机构，其安装于该滑件，且使该刻划单元与滑件的移动方向垂直地移动；影像处理部，其以既定周期，自固定于该载台上的基板读取已形成的图案的位置；以及控制部，其在沿着该影像处理部所读取的图案进行位置控制时，以使控制间隔为刻划单元的固有周期以上的方式进行过滤，且根据过滤后的数据以与该图案的线隔开既定间隔而平行地进行刻划的方式，控制该滑动机构、升降机构及该位置修正机构。