一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法

摘要

本发明公开一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，包括若干真空泵，每一真空泵包括：一固定涡卷基座；一位于基座上的固定涡卷；以及一与固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；其中，位于所述固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口，所述排气口具有一排气阀组件；每一下游的真空泵的进气口通过气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。使用本发明，下游真空泵从上游真空泵的排气口中抽气，以此降低上游真空泵排气口下容积内的压力。打破进气口和排气口的动态平衡。从排气口向进气口的回流减少，增加了从进气口抽取的气体，从而降低上游进气口的气体压力，提高进气口的极限真空度。

主权项

一种多级浮动涡旋真空泵，包括若干串联连接的真空泵，每一所述真空泵包括：一固定涡卷基座；一位于所述基座上的固定涡卷；以及一相对于所述固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；其特征在于，位于所述固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口；所述排气口具有一排气阀组件，用于开启或关闭所述排气口；所述真空泵还包括气管，每一下游的真空泵的进气口通过所述气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。