一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置

摘要

一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置，废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，第一过滤装置的上部出口与溶解槽的第一进口连通，第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，溶解槽的第二进口为溶剂进口，溶解槽的出口与第二过滤装置的进口连通，第二过滤装置的上部出口为残渣出口，第二过滤装置的下部出口与纳滤装置的入口连通，纳滤装置的第一出口为树脂出口，纳滤装置的第二出口为杂质出口，纳滤装置的第一出口与浓缩装置的入口连通，浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。本实用新型降低成本、环保性良好。

主权项

一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，其特征在于：所述回收再利用装置包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置，所述废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，所述废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，所述第一过滤装置的上部出口与所述溶解槽的第一进口连通，所述第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，所述溶解槽的第二进口为溶剂进口，所述溶解槽的出口与所述第二过滤装置的进口连通，所述第二过滤装置的上部出口为残渣出口，所述第二过滤装置的下部出口与所述纳滤装置的入口连通，所述纳滤装置的第一出口为树脂出口，所述纳滤装置的第二出口为杂质出口，所述纳滤装置的第一出口与所述浓缩装置的入口连通，所述浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。