X射线荧光光谱仪

摘要

本实用新型公开一种X射线荧光光谱仪，包括准直器系统单元、样品系统单元、真空系统单元和机箱，所述的机箱包括测量箱和辅助箱，所述的准直器系统单元和所述的样品系统单元存放在所述的测量箱内的测量室中，所述的真空系统单元存放在辅助箱内的辅助室中。该X射线荧光光谱仪采用分体式结构，将准直器系统单元和样品系统单元存放在放在测量箱内，真空系统单元存放在辅助箱内，减少了存放在辅助箱的真空泵和电磁阀等器件对存放在测量箱内的准直器系统单元的干扰，提高了仪器分析的准确性。

主权项

一种X射线荧光光谱仪，包括准直器系统单元、样品系统单元、真空系统单元和机箱，其特征在于：所述的机箱包括测量箱和辅助箱，所述的准直器系统单元和所述的样品系统单元存放在所述的测量箱内的测量室中，所述的真空系统单元存放在所述的辅助箱内的辅助室中。