发明名称 包括测试结构的晶片和芯片
摘要 本发明涉及包括测试结构的晶片和芯片。提供了具有处于其上的芯片的晶片和对应的芯片,其中,在芯片的外围芯片区域中提供测试结构或其部分。还公开了对应的方法。
申请公布号 CN103579196A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201310319261.5 申请日期 2013.07.26
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 U.施马尔斯鲍尔;M.孙德尔
分类号 H01L23/544(2006.01)I 主分类号 H01L23/544(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 蒋骏;卢江
主权项 一种晶片,包括:多个芯片,所述芯片通过截口区域彼此分离,所述芯片中的至少一个包括主区域和外围芯片区域,所述主区域至少具有形成于其中的半导体器件,其中,在所述外围芯片区域中形成测试结构的至少一部分。
地址 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号