发明名称 |
采用脉冲电镀铜方式实现铜互连的方法 |
摘要 |
本发明属于铜互连结构技术领域,具体为一种采用脉冲电镀铜方式实现铜互连的方法。本发明方法包括以下步骤:在半导体衬底上,使用等离子物理溅射法淀积介质层;使用物理溅射法溅射TaN作为扩散阻挡层,再溅射Ta作为粘附促进层;使用物理溅射法溅射铜籽晶层;将获得铜籽晶层的衬底切片成小矩形片;将所述小矩形片作为阴极,高纯度的铜棒作为阳极为进行脉冲电镀铜。其优点在于降低浓差极化,提高阴极电流密度和电镀效率,减少氢脆和镀层孔隙,提高纯度,改善镀层物理性能,所得镀层具有较好的防护性,能获得致密的低电阻率金属沉积层,具有更低的电阻率,抗电迁移能力。 |
申请公布号 |
CN103579101A |
申请公布日期 |
2014.02.12 |
申请号 |
CN201310540962.1 |
申请日期 |
2013.11.05 |
申请人 |
复旦大学 |
发明人 |
卢红亮;谢章熠;孙清清;张卫 |
分类号 |
H01L21/768(2006.01)I;C25D5/18(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/768(2006.01)I |
代理机构 |
上海正旦专利代理有限公司 31200 |
代理人 |
陆飞;盛志范 |
主权项 |
一种采用脉冲电镀铜方式实现铜互连的方法,其特征在于具体步骤为:步骤A.在半导体衬底上,使用等离子物理溅射法淀积厚度为800~1000 nm的二氧化硅,作为介质层;步骤B.使用物理溅射法溅射厚度为10~20 nm 的TaN,作为扩散阻挡层;再溅射厚度为10~20 nm 的Ta,作为粘附促进层;步骤C.使用物理溅射法溅射厚度为30~100 nm的铜籽晶层;步骤D.将获得铜籽晶层的半导体衬底切片成小矩形片;步骤E. 将所述小矩形片作为阴极,包裹一层过滤膜的高纯度的铜棒作为阳极,进行脉冲电镀铜。 |
地址 |
200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |