光学无色差聚焦系统

摘要

本发明涉及光学测量领域，特别涉及一种光学无色差聚焦系统。包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；第二曲面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第三曲面反射元件，接收由所述第二曲面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及第三曲面反射元件构成交叉切尔尼-特纳结构。本发明提供的光学无色差聚焦系统结构简单、价格低廉，光学测量时不会产生色差，并且可合理地改变入射光的传播方向，使其聚焦在样品表面，同时获得较为合适的工作距离。

主权项

一种光学无色差聚焦系统，其特征在于，包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及平面反射元件；所述第一曲面反射元件，接收由点光源发射出的光束，并将该光束变成平行光束；所述平面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；所述第二曲面反射元件，接收由所述平面反射元件反射的平行光束，将其变成会聚光束并垂直入射至待测样品的表面；所述第一曲面反射元件、平面反射元件及第二曲面反射元件构成交叉切尔尼‑特纳结构。