薄膜晶体管基板及其制造方法和包括该基板的显示器

摘要

一种薄膜晶体管基板及其制造方法和包括该基板的显示器，该薄膜晶体管基板包括基板及多个薄膜晶体管。所述多个薄膜晶体管包括第一电极层、第一绝缘层、氧化物半导体层、第二电极层及第二绝缘层。第一电极层形成于基板上，其包括栅极部。第一绝缘层覆盖第一电极层。氧化物半导体层形成于第一绝缘层上。第二电极层形成于氧化物半导体层上，其包括源极部及漏极部位于对应栅极部的两端，源极部及漏极部之间具有第一间隔。第二绝缘层覆盖氧化物半导体层与第二电极层。其中，第二电极层的边缘位于氧化物半导体层边缘之内，第二电极层包括铜。

主权项

一种薄膜晶体管基板，其特征在于，所述薄膜晶体管基板包括：基板；第一电极层，位于所述基板上，包括栅极部；第一绝缘层，覆盖所述第一电极层；氧化物半导体层，位于所述第一绝缘层上；以及第二电极层，位于所述氧化物半导体层上，包括源极部及漏极部，所述源极部及所述漏极部位于与所述栅极部相对应的两端；其中，所述第二电极层的边缘位于所述氧化物半导体层的边缘内。