发明名称 |
检查用于太阳能电池的硅衬底的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种检查用于太阳能电池的硅衬底的方法,具体地,本发明涉及一种用于检查用于太阳能电池(100)的线锯硅衬底(110)的方法。该方法包括用红外辐射(190)辐照所述硅衬底(110),检测透射穿过所述硅衬底(110)的所述红外辐射(190),以及分析检测到的所述红外辐射(190)以表征所述硅衬底(110)的晶体取向。本发明另外还涉及一种用于实施这种方法的设备,以及一种用于制造太阳能电池(100)的方法。 |
申请公布号 |
CN103575688A |
申请公布日期 |
2014.02.12 |
申请号 |
CN201310337986.7 |
申请日期 |
2013.08.05 |
申请人 |
太阳世界创新有限公司 |
发明人 |
亚历山大·菲勒;安德烈亚斯·克劳斯;拉明·希拉 |
分类号 |
G01N21/3563(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/3563(2014.01)I |
代理机构 |
上海胜康律师事务所 31263 |
代理人 |
李献忠 |
主权项 |
一种用于检查用于太阳能电池(100)的线锯硅衬底(110)的方法,其包括如下方法步骤:‑用红外辐射(190)辐照所述硅衬底(110);‑检测透射穿过所述硅衬底(110)的所述红外辐射(190);以及‑分析检测到的所述红外辐射(190)以便表征所述硅衬底(110)的晶体取向。 |
地址 |
德国弗莱贝格 |