发明名称 检查用于太阳能电池的硅衬底的方法
摘要 本发明涉及一种检查用于太阳能电池的硅衬底的方法,具体地,本发明涉及一种用于检查用于太阳能电池(100)的线锯硅衬底(110)的方法。该方法包括用红外辐射(190)辐照所述硅衬底(110),检测透射穿过所述硅衬底(110)的所述红外辐射(190),以及分析检测到的所述红外辐射(190)以表征所述硅衬底(110)的晶体取向。本发明另外还涉及一种用于实施这种方法的设备,以及一种用于制造太阳能电池(100)的方法。
申请公布号 CN103575688A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201310337986.7 申请日期 2013.08.05
申请人 太阳世界创新有限公司 发明人 亚历山大·菲勒;安德烈亚斯·克劳斯;拉明·希拉
分类号 G01N21/3563(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 G01N21/3563(2014.01)I
代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 李献忠
主权项 一种用于检查用于太阳能电池(100)的线锯硅衬底(110)的方法,其包括如下方法步骤:‑用红外辐射(190)辐照所述硅衬底(110);‑检测透射穿过所述硅衬底(110)的所述红外辐射(190);以及‑分析检测到的所述红外辐射(190)以便表征所述硅衬底(110)的晶体取向。
地址 德国弗莱贝格