用于化学气相沉积的进气口元件及其制造方法

摘要

用于化学气相沉积反应器（10）的进气口元件由多个长形的管状元件（64，65）构成，该多个长形的管状元件相互肩并肩地设置在一个垂直于反应器上下游方向的平面上。所述管状元件具有用于沿下游方向排放气体的进气口。晶片载体（14）绕着上游至下游的轴旋转。气体分布元件可以提供这样的气体分布模式：气体分布关于延伸穿过所述轴的中间平面（108）为非对称。

主权项

一种用于化学气相沉积反应器的进气口元件，其特征在于，包括一种结构，该结构具有下游侧，且界定了远离下游侧的下游方向，所述结构在下游方向上形成了多个长形的底部进气口，这些底部进气口相互平行地沿着垂直于下游方向的X水平方向延伸，所述底部进气口在垂直于X水平方向的Y水平方向上相互间隔，所述结构还包括多个从底部出气口向下游突出的长形扩散器，所述底部出气口在底部进气口之间沿X水平方向相互平行地延伸，所述扩散器逐渐变细，使得每个扩散器在Y水平方向上的尺寸沿下游方向逐渐降低、直到底部出气口下游的边缘处，至少其中一些扩散器在扩散器边缘处具有带开口的额外进气口。