强化基板及其制造方法

摘要

本发明公开一种强化基板及其制造方法，该制造方法包括：提供母板，此母板具有切割道区；在母板的切割道区中形成阻挡层；利用阻挡层作为强化阻障层以对母板进行强化加工步骤，而形成强化母板；对强化母板的切割道区进行切割步骤，以形成多个强化基板；对强化基板的边缘进行边缘研磨步骤。

主权项

一种强化基板的制造方法，包括：提供一母板，该母板具有切割道区；在该母板的该切割道区中形成一阻挡层；利用该阻挡层作为一强化阻障层以对该母板进行一强化加工步骤，而形成一强化母板；对该强化母板的该切割道区进行一切割步骤，以形成多个强化基板；对该些强化基板的边缘进行一边缘研磨步骤，其中该母板具有上表面以及下表面，且该阻挡层包括第一阻挡层以及第二阻挡层，其分别形成在该上表面与该下表面，其中形成该第一阻挡层与该第二阻挡层的方法包括：在该母板上的该上表面的该切割道区形成该第一阻挡层；在该母板上的该下表面形成一感光有机聚合物材料层；以及利用该第一阻挡层作为一曝光掩模，对该感光有机聚合物材料层进行一图案化程序，以形成该第二阻挡层。