感应耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法，该感应耦合等离子体处理装置能够不提高装置成本和电力成本地在等离子体处理的过程中进行等离子体状态的控制。在处理室(4)的上方，隔着电介质壁(2)配置有通过被供给高频电力在处理室(4)内形成感应电场的高频天线(13)，通过等离子体发光状态检测部(40)检测通过感应电场在所述处理室内形成的感应耦合等离子体的发光状态，根据该等离子体发光状态检测部(40)的检测信息，控制单元(50)控制调节包括高频天线的天线电路的特性的调节单元(21)，由此控制等离子体状态。

主权项

一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：收容被处理基板并实施等离子体处理的处理室；在所述被处理室内载置所述被处理基板的载置台；向所述处理室内供给处理气体的处理气体供给系统；对所述处理室内进行排气的排气系统；隔着电介质部件配置在所述处理室的外部，通过供给高频电力，在所述处理室内形成具有各自不同的电场强度分布的感应电场，具有多个天线部的高频天线；与所述多个天线部共通连接的高频电源；等离子体检测单元，其具有：接受通过所述感应电场在所述处理室内形成的感应耦合等离子体发出的光的受光部、对由所述受光部接受的来自所述发出的光的规定波长的检测光进行检测的光检测部、和对具有所述检测光波长的±10nm以内的波长的参照光进行检测的光检测部；与各所述天线部中的至少一个连接，并调节该被连接的天线部的阻抗的调节单元；根据所述等离子体检测单元的等离子体检测信息，控制所述调节单元，控制等离子体状态的控制单元；和将利用所述参照光的发光强度使所述检测光的发光强度标准化的运算部。