一种新型硅片预冲洗设备

摘要

本实用新型公开了一种新型硅片预冲洗设备，它包括喷淋槽、抛动电机、气动隔膜泵、废砂浆收集箱，所述喷淋槽还包括喷淋管、过滤网，所述喷淋槽分别与抛动电机和气动隔膜泵连接，所述气动隔膜泵与废砂浆收集箱相连。该设备采用向喷淋管通气，通过喷淋管内气体产生的强气流，推动喷淋槽内水的流动，达到对硅片的清洗目的，同时通过气动隔膜泵将喷淋槽内产生的废砂浆水抽到废砂浆收集箱内，与现有技术相比该设备降低耗水量，节约水资源，减少水中赃物量，防止喷淋管上的气嘴被赌，减少故障处理，节约人力成本，提高了产品的质量，与此同时废砂收集箱内的废砂可以复利用，降低了处理成本。

主权项

一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：它包括喷淋槽（1）、抛动电机（2）、气动隔膜泵（3）、废砂浆收集箱（4），所述喷淋槽（1）还包括喷淋管（５）、过滤网（6），所述喷淋槽（1）分别与抛动电机（2）和气动隔膜泵（3）连接，所述气动隔膜泵（3）与废砂浆收集箱（4）相连。