发明名称 |
一种氧化锌纳米线阵列紫外光电探测器的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于氧化锌纳米线阵列的紫外光电探测器,属于光电子器件领域。本发明利用化学气相沉积技术,通过调节双温区管式炉装中真空压力等实验参数,在氮化镓衬底上实现氧化锌纳米线阵列的均匀可控生长,然后利用透明导电玻璃直接贴压法,得到对365nm紫外光具有毫秒量级的快速响应和恢复时间的紫外光电探测器。本方法工艺简单,材料成本低廉,在快速紫外光电传感器和短波长光电器件领域有广泛的运用前景。 |
申请公布号 |
CN103579415A |
申请公布日期 |
2014.02.12 |
申请号 |
CN201310499193.5 |
申请日期 |
2013.10.22 |
申请人 |
华中科技大学 |
发明人 |
高义华;张翔晖;韩祥云;苏俊;张旗 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
华中科技大学专利中心 42201 |
代理人 |
朱仁玲 |
主权项 |
一种氧化锌纳米线阵列紫外光探测器的制备方法,其特征在于包括:1)利用化学气相沉积法,在本征或者p型导电的氮化镓薄膜上生长氧化锌纳米线阵列;2)用导电玻璃和所述氧化锌纳米线阵列直接接触。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号 |