位置敏感传感器的标定装置和标定方法

摘要

一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感传感器的响应范围，线性度，精度和动态响应误差等。

主权项

一种位置敏感传感器的标定装置，特征在于其构成包括：照明单元（1）、双光楔单元（2）、指向敏感光路单元（3）、位置敏感传感器（4）、数据采集与控制单元（5）和CCD光束监测单元（6）： 所述的照明单元（1）由激光器（101）、准直镜（102）、小孔光阑（104）和分光镜（106）组成，所述的激光器（101）发出的激光经所述的准直镜（102）变成平行光束（103），该平行光束再经小孔光阑（104）形成具有一定孔径的光束（105），在该光束（105）的传播方向顺序放置所述的分光镜（106）和双光楔单元（2）； 所述的双光楔单元（2）包括第一光楔（201）和第二光楔（202），分别位于第一电动旋转台（204）和第二电动旋转台（205）上，所述的光束（105）经过所述的分光镜（106）分为反射光束和透射光束，所述的透射光束依次通过第一光楔（201）和第二光楔（202），得到出射光束（203），所述的反射光束进入所述的CCD光束监测单元（6）； 所述的指向敏感光路单元（3）由共焦的第一聚焦透镜（301）和第一成像透镜（304）组成，第一聚焦透镜（301）的焦点光斑303作为第一成像透镜（304）的物点； 所述的位置敏感传感器（4）包括光敏面（401）、传感器（402）、触角（403）及处理电路（404），该位置敏感传感器（4）的输出端接所述的数据采集与控制单元（5）的输入端； 所述的数据采集与控制单元（5）包括数据采集卡及其接线盒（501），计算机和控制软件（502）； 所述的CCD光束监测单元（6）由第二成像透镜（601）、第三成像透镜（603）、光衰减片（604）和CCD（606）组成，该CCD光束监测单元（6）的输出端接所述的数据采集与控制单元（5）的输入端； 所述的数据采集与控制单元（5）的输出端与所述的双光楔单元（2）的第一电动旋转台（204）和第二电动旋转台（205）的控制端相连。