体波谐振器及其加工方法

摘要

一种体波谐振器及其加工方法，声波谐振器：位于基底上或嵌于基底内部的具有第一边缘和第二边缘的声学镜；位于基底上与声学镜的两个边缘充分接触的介电层；位于声学镜上的包含第一末端部、第二末端部、以及位于第一末端部和第二末端部之间的主体部分的第一电极；位于第一电极上的具有主体部、第一末端部、以及第二末端部压电层；位于压电层上具有主体部和第二部分的第二电极，主体部位于压电层的主体部之上，并与第二部分相连，从而使这两部分的连接处位于声学镜的第一边缘和第二边缘之间，并且在第二电极的第二部分与压电层的第一末端部之间形成空气间隙。本发明结构简单，加工方便，能够提高谐振器的品质因数、有效机电耦合系数和抗静电放电能力。

主权项

一种声波谐振器，其特征在于，包括如下结构：(a)基底；(b)位于基底上或嵌于基底内部的声学镜，所述的声学镜包含第一边缘和第二边缘；(c)位于基底上的介电层，所述的介电层与声学镜的两个边缘充分接触；(d)位于声学镜上的第一电极，所述的第一电极包含第一末端部、第二末端部、以及位于第一末端部和第二末端部之间的主体部分，第一电极至少有一个末端要延伸到介电层之上；(e)位于第一电极上的压电层，所述的压电层包括有主体部、第一末端部、以及第二末端部，并且所述的两个末端部分别向相反方向延伸到介电层之上；(f)位于压电层上的第二电极，所述的第二电极包括有主体部和第二部分，所述的主体部位于压电层的主体部之上，并与第二部分相连，从而使这两部分的连接处位于声学镜的第一边缘和第二边缘之间，并且在第二电极的第二部分与压电层的第一末端部之间形成空气间隙。