发明名称 偏压温度不稳定性测试电路及其测试方法
摘要 本发明揭示了一种偏压温度不稳定性测试电路,该电路包括:环形回荡器电路,所述环形振荡器电路包括n级测试电路,每级测试电路的结构相同,每一测试电路包括第一节点、第二节点和第三节点,每一测试电路的第三节点与其前一测试电路的第一节点相连;其中每一测试电路包括互补的待测PMOS管和待测NMOS管、互补的开关PMOS管和开关NMOS管以及至少一对互补的分压PMOS管和分压NMOS管。本发明还揭示了一种偏压温度不稳定性测试电路的测试方法,包括提供所述偏压温度不稳定性测试电路;测试待测PMOS管的负偏压温度不稳定性;测试待测NMOS管的正偏压温度不稳定性。本发明的偏压温度不稳定性测试电路,能够测试PMOS管的负偏压温度不稳定性和NMOS管的正偏压温度不稳定性。
申请公布号 CN103576067A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201210264937.0 申请日期 2012.07.27
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 甘正浩;冯军宏
分类号 G01R31/26(2014.01)I 主分类号 G01R31/26(2014.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种偏压温度不稳定性测试电路,包括:环形回荡器电路,所述环形振荡器电路包括n级测试电路,每级测试电路的结构相同,每一测试电路包括第一节点、第二节点和第三节点,每一测试电路的第一节点与其前一测试电路的第三节点相连,n为正整数;其中每一测试电路包括互补的待测PMOS管和待测NMOS管、互补的开关PMOS管和开关NMOS管以及至少一对互补的分压PMOS管和分压NMOS管,且所述待测PMOS管的源极接第一电压端、栅极接第一节点,所述待测NMOS管的源极接低电平、栅极接第一节点,所述开关PMOS管的源极接第一电压端、栅极接第二电压端、漏极接第三节点,所述开关NMOS管的源极接低电平端、栅极接第三电压端、漏极接地第三节点,所述分压PMOS管的漏极接第二节点、栅极接第四电压端、源极接所述待测PMOS管的漏极,所述分压NMOS管的漏极接第二节点、栅极接第五电压端、源极接所述待测NMOS管的漏极。
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号