| 发明名称 | 旋转式曝光载送设备 | ||
| 摘要 | 本发明系提供一种旋转式曝光载送设备，用于载送一基材以进行曝光，旋转式曝光载送设备包含一承载装置及一转动式移动装置，承载装置将基材固定于其上而承载基材，转动式移动装置具有一转动机构，转动机构连接承载装置且在转动的状态下为移动，以改善曝光制程的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103576465A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201210254365.8 | 申请日期 | 2012.07.23 |
| 申请人 | 崇鼎科技有限公司 | 发明人 | 刘维林 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 一种旋转式曝光载送设备，用于载送一基材以进行曝光，其特征在于，该旋转式曝光载送设备包含：一承载装置，将该基材固定于其上，而承载该基材；以及一转动式移动装置，具有一转动机构，该转动机构连接该承载装置且在旋转的状态下为移动。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县中坜市东园路38-2号1楼 | ||