| 发明名称 | 石墨加热器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种既不使石墨加热器的电阻值有大的下降，而挠曲以及翘曲等的变形又极少的高温强度高的石墨加热器。本发明的石墨加热器，为了达成上述目的，在两端有电气连接部或端子部，在与电流流动的长方向上的交叉的截面上呈凹形的沟部形成，其特征在于∶所述沟部沿着所述长方向连续形成，但是在该沟部与所述长方向交叉的方向上有至少一个梁部形成。 | ||
| 申请公布号 | CN103572261A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201310244299.0 | 申请日期 | 2013.06.19 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 加藤公二 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C30B25/10(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 王勇 |
| 主权项 | 本发明的石墨加热器，在两端有电气连接部，在电流流动的长方向上形成在与长交叉的截面上呈凹形的沟，其特征在于∶所述沟部沿着所述长方向连续形成，但是在与该沟部交叉的方向上有至少一个梁部形成。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||