精密对位平台

摘要

本实用新型提供一种精密对位平台，以三组动力装置带动一第三移动单元移动，其中两组动力装置可分别带动第三移动单元于X及Y方向上移动，另一组动力装置则设有蜗杆而可驱动设于该第二移动单元与该第三移动单元间的一弧形齿排，进而带动该第三移动单元转动。通过蜗杆于侧向来驱动弧形齿排的方式，可薄形化对位平台，并可对该第三移动单元的转动进行极为精密的控制，而可达到极小角度的转动位移。此外，本实用新型除可供将各动力装置连接于一控制器，以控制器分别驱动各动力装置运作，于单纯转动第三移动单元时仅需驱动单一动力装置，而不需令各动力装置同时搭配作动，简化对位平台的操作难度，提高工作效率。

主权项

一种精密对位平台，其特征在于，包含：一底座；至少一Y轴导件，设于该底座；一第一移动单元，可移动地设于各该Y轴导件，该第一移动单元与该底座平行；一第一动力装置，包含一第一马达与一由该第一马达驱动的第一推杆，该第一马达设于该底座，该第一马达可带动该第一推杆移动以带动该第一移动单元沿各该Y轴导件移动；至少一X轴导件，与该第一移动单元成连动关系，该X轴导件与该Y轴导件彼此不平行；一第二移动单元，可移动地设于各该X轴导件，该第二移动单元与该底座平行；一第二动力装置，包含一第二马达与一由该第二马达驱动的第二推杆，该第二马达设于该第一移动单元、该第一推杆与各该X轴导件其中之一，该第二马达可带动该第二推杆移动以带动该第二移动单元沿各该X轴导件移动；一第三移动单元，可转动地设于该第二移动单元上方，该第三移动单元与该底座平行；一转动单元，设于该第二移动单元与该第三移动单元之间，其外围具有一弧形齿排；及一第三动力装置，设于该第二移动单元的一周侧，包含一第三马达与一由该第三马达驱动且与该弧形齿排啮合的蜗杆，该第三马达可带动该蜗杆转动而驱动该弧形齿排以带动该第三移动单元相对该底座转动。