光刻机工件台陀螺进动式主动稳定装置

摘要

光刻机工件台陀螺进动式主动稳定装置属于半导体光学光刻制造技术；在基台上安装可平行移动的平衡质量块，在平衡质量块沿X轴两侧对称部位上分别安装X向第一和第二直线电机定子，X向第一和第二直线电机动子分别气浮安装在X向第一和第二直线电机定子上，在X向第一和第二直线电机动子之间刚性固装带有Y向直线电机定子的Y向导轨，Y向直线电机动子气浮安装在Y向导轨上，硅片承载台固定在Y向直线电机动子侧部上，气浮连接在基台上的硅片台支承座与硅片承载台刚性连接，由舵机、机械陀螺仪和陀螺仪固定座构成的第一、二、三、四陀螺主动稳定装置分别安装在平衡质量块四角处的四个槽坑内；本装置补偿实时性好，振动小，定位精度高。

主权项

一种光刻机工件台陀螺进动式主动稳定装置，在基台(1)上通过气浮安装平衡质量块(2)，且平衡质量块(2)在基台(1)X、Y轴平面内能够自由移动，在平衡质量块(2)上沿X轴两侧对称部位处分别安装X向第一直线电机定子(5a)和X向第二直线电机定子(5b)，X向第一直线电机动子(6a)和X向第二直线电机动子(6b)通过气浮导轨分别安装在X向第一直线电机定子(5a)和X向第二直线电机定子(5b)上，在X向第一直线电机动子(6a)和X向第二直线电机动子(6b)之间刚性固装Y向导轨(8)，Y向直线电机定子(9)安装在Y向导轨(8)上，Y向直线电机动子(7)通过气浮导轨安装在Y向导轨(8)上，硅片承载台(10)刚性固定在Y向直线电机动子(7)侧部上，其特征在于硅片台支承座(3)的底部通过气浮连接在基台(1)上，硅片台支承座(3)的顶部与硅片承载台(10)刚性连接，在平衡质量块(2)的四个对角处对称设置四个槽坑，在四个槽坑内沿Y轴分别依次配置第一陀螺主动稳定装置(4a)、第二陀螺主动稳定装置(4b)、第三陀螺主动稳定装置(4c)、第四陀螺主动稳定装置(4d)，第一、第二、第三、第四陀螺主动稳定装置(4a、4b、4c、4d)分别由舵机(13)、机械陀螺仪(11)和陀螺仪固定座(12)构成，其中舵机(13)刚性固装在平衡质量块(2)上，内部带有高速回转体的机械陀螺仪(11)通过陀螺仪固定座(12)与舵机(13)的舵机轴刚性连接。