发明名称 在具有抗反射涂层基板上的单腔中之奈米线阵列
摘要 一项实施例系关于在具有一空腔之一基板上包括一或多奈米线之影像感测器,该奈米线经组态以透射入射至该感测器上之电磁辐射光束之第一部分,且该基板吸收入射至该感测器上之电磁辐射光束之第二部分,其中该第一部分大体上系不同于该第二部分。该基板可具有抗反射材料。该空腔之直径对该奈米线之直径之比率可低于约10。
申请公布号 TWI426601 申请公布日期 2014.02.11
申请号 TW099117815 申请日期 2010.06.02
申请人 立那工业股份有限公司 美国 发明人 伍伯 慕尼
分类号 H01L27/14;H01L31/08 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国