线性沉积源

摘要

一种沉积源包含复数个坩埚，每一坩埚包含一沉积材料。一热遮罩，对于复数个坩埚的至少一者提供至少部分的热隔离。一本体，包含有复数个传导通道。复数个的传导通道的每一者的一输入端是耦接至复数个坩埚之个别一者的一输出端。一加热器增加复数个坩埚的温度，以至于每一坩埚蒸发该沉积材料进入复数个传导通道。复数个喷嘴的每一者的一输入端是耦接至复数个传导通道之一的一输出端。从该等坩埚通过该传导通道传输蒸发之沉积材料至该等喷嘴，在此该蒸发之沉积材料从复数个喷嘴喷出以形成一沉积流束。