| 摘要 |
单结晶拉引装置(A1)系藉移动包括重量检出机构(541)之支撑体(5)，移动拉引轴(3)及轴支撑部(4)，拉引气密容器(2)内的单结晶(1)者，轴支撑部(4)具备支撑拉引轴(3)之本体部(41)、及连结在本体部(41)之被支撑部(43)，支撑体(5)包括支撑被支撑部(43)之支撑部(54)、及配置于在轴线方向z上，比被支撑部(43)还要上方之延长部(53)，其包括：第1筒体(71)，设于延长部(53)与被支撑部(43)之间，可在轴线方向z伸缩，同时内部空间被气密；第2筒体(72)，其构成系包围拉引轴(3)，可在轴线方向z伸缩，轴线方向z中之上端被固定于本体部(41)，同时内部空间被气密，而且，与气密空间(2)之内部空间相通；以及配管(74)，连结第1筒体(71)与第2筒体(72)。藉这种构成，能更正确量测单结晶(1)之重量。 |
