镜面反射性表面之形状量测之方法及装置

摘要

本发明提供一种量测镜面反射表面之形状的方法。显示于在目标平面上目标的表面上之图案从位于量测平面上之镜面反射表面产生。反射的影像记录在成像平面处。在镜面反射表面上多个点相对于成像平面的位置被决定出。决定在反射影像上的特性位置与在图案上的特性点处之间的第一关系。利用多个点处之位置作为初始条件，自牵涉到镜面反射表面之表面轮廓的第二关系以及第一关系决定镜面反射表面的形状。