用于沈积含钌膜之方法

摘要

如以下通式(I)之有机金属化合物：;L-Ru-X　　　(I);其中：;L为非芳香性环状不饱和烃配位体(L)，其具有至少六个环状碳原子，该环为未经取代或经取代；且;X若不是与(L)完全一致或不同之非芳香性环状不饱和烃配位体，其具有至少六个环状碳原子，该环为未经取代或经取代，即是具有由五至十个碳原子之环状或非环状共轭烷二烯烃配位体，该烃配位体为未经取代或经取代，其用途为作为钌前驱物以制造经以钌为基础之膜涂布之金属电极。