压印微影方法及装置

摘要

本发明揭示一种压印微影对准装置，其包括至少两个侦测器，该至少两个侦测器经组态以侦测一压印模板对准标记，其中该对准装置进一步包含对准辐射调整光学仪器，该等对准辐射调整光学仪器经组态以提供供该至少两个对准侦测器接收对准辐射之部位的调整。