发明名称 |
静法码机 |
摘要 |
一种静法码机,包含一基座、一上座、一天平、一雷射干涉仪、一待校正架、一动力支撑装置、一校正台、一螺杆组及至少一法码组,天平设置于上座,天平设有一杠杆,杠杆以一低摩擦气体轴承为支点,雷射干涉仪设置于上座,雷射干涉仪用以侦测天平之杠杆之平衡状态,待校正架结合一万向连杆与杠杆连结且待校正架底部设有一法码连杆,动力支撑装置与待校正架连结以带动待校正架上、下位移,校正台用以承载待测件,螺杆组带动校正台上、下位移,法码组与法码连杆连接,且法码组具有多数个可逐一加挂之法码,而各法码之间则由数个连接件连结。 |
申请公布号 |
TWI426244 |
申请公布日期 |
2014.02.11 |
申请号 |
TW099139003 |
申请日期 |
2010.11.12 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
陈秋贤 |
分类号 |
G01G1/16;G01G1/26 |
主分类号 |
G01G1/16 |
代理机构 |
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代理人 |
林坤成 台北市信义区松德路171号2楼;谢金原 台北市信义区松德路171号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |