使用块状共聚合物以形成图样之方法

摘要

一些实施例包括形成图样之方法，其中一含有块状共聚合物之组合物形成于一基板上且接着经图样化以形成一第一遮罩。随后该组合物之块状共聚合物经诱发在该第一遮罩内形成一重复图样。接着该重复图样之若干部分经移除以自该第一遮罩形成一第二遮罩。该含有块状共聚合物之组合物的图样化可使用光微影。或者，该基板可具有关于该含有块状共聚合物之组合物相对于彼此不同地润湿的区域，且该第一遮罩之图样化可使用该等润湿之差异形成该第一遮罩。