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发明名称
具有线之基材支持件及使用其之装置
摘要
一种装置,其包括:一用于处理一基材之处理腔、一处于该处理腔中之基座、一处于该基座上方之支撑框架及至少一条连接至该支撑框架之线。
申请公布号
TWI426323
申请公布日期
2014.02.11
申请号
TW094101720
申请日期
2005.01.20
申请人
周星工程股份有限公司 南韩
发明人
黄喆周;李相道
分类号
G02F1/133;H01L21/00
主分类号
G02F1/133
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
南韩
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