发明名称 具有线之基材支持件及使用其之装置
摘要 一种装置,其包括:一用于处理一基材之处理腔、一处于该处理腔中之基座、一处于该基座上方之支撑框架及至少一条连接至该支撑框架之线。
申请公布号 TWI426323 申请公布日期 2014.02.11
申请号 TW094101720 申请日期 2005.01.20
申请人 周星工程股份有限公司 南韩 发明人 黄喆周;李相道
分类号 G02F1/133;H01L21/00 主分类号 G02F1/133
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 南韩
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