移动样品之形貌的量测方法及其装置

摘要

一种移动样品之形貌的量测方法及其装置，其系提供一种可随着移动中之待测样品，而移动之量测模组，以缩小移动之待测样品与量测模组之间的相对速度，使量测模组及时取得同一位置的足够光强讯号，以得出待测样品之形貌或厚度。