发明名称 ПОКРЫТЫЙ КАРБИДОМ ТАНТАЛА УГЛЕРОДНЫЙ МАТЕРИАЛ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
摘要 1. Покрытый карбидом тантала углеродный материал, содержащий:углеродную подложку; и покрывающую пленку карбида тантала, которая обеспечена на углеродной подложке,причем покрывающая пленка карбида тантала имеет максимальную величину пика, по меньшей мере, 80° при угле ориентации плоскости (311), соответствующей дифракционному пику карбида тантала, как определено с помощью рентгеновской дифракции.2. Покрытый карбидом тантала углеродный материал по п.1, гдепокрывающая пленка карбида тантала имеет максимальную величину пика, по меньшей мере, 80° при угле ориентации плоскости (220), соответствующей дифракционному пику карбида тантала, как определено с помощью рентгеновской дифракции.3. Покрытый карбидом тантала углеродный материал по п.1 или 2, гдесумма интенсивностей дифракции плоскости (311) и плоскости (220) кристаллов карбида тантала в рентгенограмме составляет не ниже чем 0,5 и не выше чем 0,9 по сравнению с полной суммой интенсивностей дифракции всех кристаллических плоскостей кристаллов карбида тантала в рентгенограмме.4. Покрытый карбидом тантала углеродный материал по любому из пп.1 или 2, гдеинтенсивность дифракционной линии, соответствующей плоскости (311) или плоскости (220) в спектре рентгеновской дифракции покрывающей пленки карбида тантала, является максимальной.5. Покрытый карбидом тантала углеродный материал по любому из пп.1 или 2, гдев спектре рентгеновской дифракции покрывающей пленки карбида тантала величина полуширины дифракционной линии плоскости (311) или плоскости (220) составляет 0,2° или ниже.6. Покрытый карбидом тантала углеродный материал, содержащий:углеродную подложку; и покрывающую пленку карбида т
申请公布号 RU2012132436(A) 申请公布日期 2014.02.10
申请号 RU20120132436 申请日期 2010.12.28
申请人 ТОЙО ТАНСО КО., ЛТД. 发明人 КОНДО Мика
分类号 C23C16/32 主分类号 C23C16/32
代理机构 代理人
主权项
地址