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发明名称 ANTI-REFLECTIVE COATINGS
摘要 Novel self-crosslinking polymers are provided and which are useful in antireflective coatings to reduce outgassing.
申请公布号 KR101360994(B1) 申请公布日期 2014.02.10
申请号 KR20087007898 申请日期 2006.10.26
申请人 发明人
分类号 C08F8/30;C08J3/24;G03F7/09;H01L21/027 主分类号 C08F8/30
代理机构 代理人
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