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Eine Untersuchungsvorrichtung (100) zur Erfassung von Eigenschaften mindestens eines Materials, das in mindestens einer Bauelement-Probe (1) enthalten ist, umfasst eine Messeinrichtung (10), mit der elektrische Messwerte an der Bauelement-Probe (1) erfassbar sind, und eine Simulations- und Auswerteeinrichtung (20), die zur Anpassung einer Simulationsfunktion, welche die Eigenschaften der Bauelement-Probe (1) als Parameter enthält, an die elektrischen Messwerte eingerichtet ist, wobei eine Ausgabeeinrichtung (30) vorgesehen ist, die zur Ausgabe der Materialeigenschaften aus der angepassten Simulationsfunktion eingerichtet ist, und wobei des Weiteren eine Steuereinrichtung (40) vorgesehen ist, mit der mindestens eine der Messeinrichtung (10) und der Simulations- und Auswerteeinrichtung (20) in Abhängigkeit von einer gespeicherten, probenspezifischen Steuerfunktion steuerbar ist. Es wird auch ein Verfahren zur Erfassung von Eigenschaften eines Materials beschrieben, das in mindestens einer Bauelement-Probe (1) enthalten ist. |
