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发明名称 METHOD FOR PROCESSING OBJECT
摘要 In a method for processing an object by heating the object, microwaves are irradiated to the object. In the microwave irradiation, the object is forcedly cooled.
申请公布号 US2014038430(A1) 申请公布日期 2014.02.06
申请号 US201313945256 申请日期 2013.07.18
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KABE YOSHIRO;MONDEN TAICHI;SHIMOMURA KOUJI;SHIRAGA KENTARO;WATANABE YOSHIMASA;HIROTA YOSHIHIRO;KITAGAWA JUNICHI
分类号 H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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