ACHROMATIC SCANNER HAVING A MONOCHROMATIC F-THETA OBJECTIVE

摘要

Achromatische Scaneinrichtung, bei der die Prescanoptik (2) und die Postscanoptik (4) so ausgelegt und zueinander angeordnet sind, dass für ein auf die Zieloberfläche (5) abgebildetes Lichtbündel (1.1) eine erste Bildebene der Prescanoptik (BEprelambda1) mit einer ersten Objektebene der Postscanoptik (OEpostlambda1) für einen ersten Bündelanteil (1.1.1) und eine zweite Bildebene der Prescanoptik (BetaEpsilonprelambda2) mit einer zweiten Objektebene der Postscanoptik (OEpostlambda2) für einen zweiten Bündelanteil (1.1.2) zusammenfallen, wobei der ersten Objektebene der Postscanoptik (OEpostlambda1) und der zweiten Objektebene der Postscanoptik (OEpostlambda2) eine Bildebene der Postscanoptik (BEpost) zugeordnet ist, die auf der Zieloberfläche (5) liegt.