| 摘要 |
Ein transparenter Photodetektor. Der transparente Photodetektor weist ein Substrat auf; einen Wellenleiter auf dem Substrat; eine bewegliche Struktur, die in Bezug auf das Substrat beweglich ist, wobei die bewegliche Struktur in der Nähe des Wellenleiters liegt; und ein Silicium-Nanodraht-Array, das in Bezug auf das Substrat aufgehängt ist und mit der beweglichen Struktur mechanisch verbunden ist, wobei das Silicium-Nanodraht-Array eine Vielzahl von Silicium-Nanodrähten mit einem Piezowiderstand aufweist. In Betrieb führt eine Lichtquelle, die sich durch den Wellenleiter ausbreitet, zu einer optischen Kraft an der beweglichen Struktur, was zudem zu einer Beanspruchung an den Nanodrähten führt, um eine Änderung im elektrischen Widerstand der Nanodrähte zu bewirken. Das Substrat kann ein Halbleiter-auf-Isolator-Substrat sein. |
