| 摘要 |
Vakuumdruckmessgerät mit einer Elektronenquelle (1) und mit einer Reaktionszone (30) zur Bildung von Ionen (22) durch Stossionisation, wobei die Elektronenquelle (1) mit der Reaktionszone (30) über eine Durchtrittsöffnung (40) für die Elektronen (21) kommunizierend verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (1) ein isolierendes Gehäuse (6) mit einem Vakuumraum (7) umschliessend aufweist, und dass ein Wandungsteil als Membranträger (4) ausgebildet ist welcher mindestens in einem Teilbereich eine Nanomembran (5) trägt, die den Vakuumraum (7) gegenüber dem Aussenbereich gasdichtend trennt und mindestens zu einem Teil elektronendurchlässig ausgebildet ist, und dass in diesem Vakuumraum (7) eine Kathode (2) angeordnet ist zur Emission von Elektronen (21) und dass im Bereich und/oder an der Nanomembran (5) eine Anodenanordnung (3) derart vorgesehen ist, dass Elektronen (21) gegen die Nanomembran (5) und mindesten teilweise durch diese hindurch tretend geführt sind, wobei die Nanomembran (5) an den Vakuumraum des Vakuumdruckmessgerätes angrenzt. |
